ZY CMP抛光液_珈得尔化学试剂

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ZY CMP抛光液

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性状：

产品特点：
1. 粒径均一（粒径分布窄，形貌呈正球状）；
2. 抛光速率快（特殊配方，PH值稳定不变）；
3. 高平坦化（表面质量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u）；;
4. 循环次数较多；
5. 可低温抛光（35℃以下）。

应用范围：
配合国瑞升抛光垫产品，可广泛用于多种材料纳米级的化学机械抛光。如，蓝宝石材料、硅片、不锈钢、铝镁合金、化合物晶体等的抛光加工。

质量标准：

产品规格：
项目 SO-80-PF SO-100-PF 测试方法
粒度（nm） 70-90 90-110 激光粒度仪
颗粒形貌球形球形 SEM /TEM
pH 10.5±0.5 10.5±0.5 pH计
粘度（cps）＜10 粘度计
包装规格 500ml、 25Kg、 200Kg

CMP抛光液是以硅溶胶为原料，针对不同研磨材料的特性进行独特配方设计，保证抛光过程中PH值基本保持不变，从而保证抛光速率的稳定及节约抛光时间。